Produkter
5 mikron pulverfilterpatroner i rustfrit stål med 1/2" videobåndoptagere
Størrelse: φ40*196,3mm
Filterpræcision: 5 mikron
Interface: VCR1/2"
Pulverfilterpatroner i rustfrit stål med VCR 1/2"-grænseflader er kritiske komponenter i halvlederfremstilling, specielt designet til gasdistributionssystemer med høj -renhed. Disse filterpatroner anvender avanceret metalpulversintringsteknologi til at opnå præcis filtrering, der effektivt opfanger partikler så små som 5 mikron. Dette sikrer leveringen af, hvilket sikrer leveringen af, hvilket sikrer levering, integritet af følsomme halvlederfremstillingsprocesser. VCR 1/2"-grænsefladen giver en lækagesikker-metal-til-metalforsegling, der opfylder de strenge krav i halvledermiljøer, hvor selv små gasurenheder kan føre til betydelige defekter i mikroelektroniske enheder. Deres robuste konstruktion af-korrosionsbestandigt rustfrit stål garanterer holdbarhed og lang{15}}pålidelighed under ekstreme forhold.
I halvlederapplikationer spiller disse filterpatroner en afgørende rolle i at beskytte downstream-udstyr såsom massestrømsregulatorer og præcisionsventiler mod partikelforurening. Ved at integreres problemfrit i eksisterende-gasledninger med høj renhed forenkler de installation og vedligeholdelse, samtidig med at systemets nedetid minimeres. Kombinationen af høj filtreringseffektivitet, exceptionel kemisk resistens og pålidelig forsegling gør dem uundværlige for at sikre ensartet gasrenhed og driftseffektivitet i avancerede halvlederproduktionsfaciliteter.
Produktspecifikationer

Materiale: 316L pulver
Størrelse: φ40*196,3mm
Filterpræcision: 5 mikron
Interface: VCR1/2"
Teknisk: Sintring
Produktets funktioner

1. Ultra-høj renhed og partikelretention
- Sintret rustfri stålstruktur (typisk 316L) giver et rent, helmetalfiltreringsmedium uden bindemidler, klæbemidler eller organiske rester.
- I stand til at tilbageholde sub-mikron partikler ned til 0,5 μm, hvilket forhindrer mikrokontaminering i at nå proceskamre eller wafers.
- Ingen partikeludskillelse, hvilket sikrer stabilt partikelantal ved langvarig brug.
2. Robust mekanisk og termisk stabilitet
- Fuldmetaldesign modstår højt tryk, høj temperatur og hyppige termiske cyklusser.
- Bevarer mekanisk integritet under vibrationer, omvendt flow eller trykpulserende-tilstande, der er almindelige i gasdistributionssystemer.
- Kompatibel med varmesporing til højtemperaturgasledninger.

3. Genrensbar og regenererbar
- Filterelementer kan skylles tilbage, rengøres med ultralyd eller bages i vakuum, hvilket giver lang levetid sammenlignet med polymer- eller keramiske filtre.
- Den typiske livscyklus strækker sig til 5-10 gange den for engangs-PTFE- eller PVDF-filtre, hvilket minimerer nedetiden og de samlede ejeromkostninger.
4. Kemisk kompatibilitet og korrosionsbestandighed
- 316L rustfrit stål bevarer en passiv oxidfilm i miljøer med chlorid, fluor, ammoniak og sure gasser.
- Ikke-reaktiv overflade forhindrer metalionekstraktion eller ændringer i gassammensætningen.
applikationer
1. UHP-gasdistributionsledninger
- Installeret i bulk-gasleveringsskinner, gasskabe og VMB/VMP-paneler og filtrerer partikler fra, før gas kommer ind i MFC'er eller procesværktøjer.
- Anvendes i N₂, Ar, H₂, He, O₂, NH₃, CF₄ og andre gasledninger med høj renhed, der forsyner kritiske processer.
2. Mass Flow Controller (MFC) indløbsbeskyttelse
- Forhindrer partikelkontamination og ventilslid i præcisionsmassestrømsregulatorer.
- Forbedrer langsigtet flowstabilitet og kalibreringskonsistens af MFC'er.
3. Proceskammer og værktøjsgasindtag
- Sikrer partikelfri, fugtfri levering til CVD-, ALD-, ætsnings- og diffusionsovne.
- Anvendes i SiH₄-, WF₆-, BCl₃-, PH₃- og TEOS-linjer, hvor renhed er afgørende for filmkvalitet og -udbytte.
4. Specialgas- og prækursorsystemer
- Til metalorganiske eller halogenbaserede gasser, hvor kemisk inertitet og temperaturstabilitet er afgørende.
- Placeres ofte efter fordampere eller boblere for at fange kondenserede partikler eller dråber.
Kontakt os
Tlf.: 0917-3873009
Telefon: +86 18992731201
E-mail:zhangjixia@bjygti.com
Fax: 0917-3873009
Adresse: No. 195, Gaoxin Avenue, High-Tech Development Zone, Baoji City, Shaanxi, Kina
Whatsapp: +86 18992731201
Populære tags: 5 mikron rustfrit stål pulverfilterpatroner med videobåndoptager 1/2" grænseflader, Kina, leverandører, producenter, tilpasset, brug, prisliste, til salg, på lager, gratis prøve, porøst materiale
-
Sintret titanium metalfilterSe mere> -
Titanium sintret porøs pladeSe mere> -
SUS 316L pulversintret lille filterelementSe mere> -
Porøse Ti-elementer til beskyttelsesdæksel til temperatur...Se mere> -
40um SS316L Sinteret metaltråd Mesh FilterpatronSe mere> -
Porøst titanium filterelement med sekskantet møtrikSe mere>













